事業紹介 | 株式会社エムテック【三重・岩手・熊本・埼玉】

HOME
事業案内

半導体製造装置向けを主とした特殊ガス設備工事

使用する機器類や材料の品質を厳しく管理し、安心・安全な設備工事を行います。

半導体ウエハー成膜に使用するガスには、水分や
油分、不純物などを一切含まないよう、パイプラインで供給する必要があります。
そのため、使用する機器類や材料は常にクリーンであるよう品質を厳しく管理して、パイプの加工の際にも
異物混入を防ぐように細心の注意を払っています。

独自のノウハウが詰まった精密な配管加工・溶接技術

サイズ、継手の材質、形状、メーカーなどを
考慮した精密な配管加工を行っています。

パイプの切断、端面加工、自動溶接など
各作業工程では、製作誤差を極力無くす必要があります。
口径3.18mm～114mm以上のパイプを扱いますが、
自動溶接では各サイズ継手の材質、形状、メーカーを考慮し適正な溶接条件の設定、内圧管理を行っています。

CAD設計

省スペース化、施工性、品質保持、低コスト、短納期など、
お客さまの様々なご要望にお応えする設計を行います。

Auto CADを使用し、ガス供給システムの系統図、配管図、
製作図を作図いたします。
省スペース化、施工性、流体の品質保持、低コスト、短納期を考慮した設計を追求します。
高純度ガス配管製作

ステンレス製クリーンパイプと高度な溶接技術を駆使して、
高品質なガス配管を短納期で提供します。

特殊ガスの配管制作では、不純物の混入を防ぐ配管加工・溶接技術が非常に重要となります。
主要としては、ステンレス製クリーンパイプによる製作を行っており、Tig手溶接・自動溶接技術を駆使して安全性を第一に、
高品質・短納期を目指し、お客さまのご要望にお応えいたします。
供給ユニット製作

クリーンルームによる、シリンダーキャビネット、
バルブマニフォールド等の各種ガス設備機器の製作、組立を行います。
メンテナンス

特殊ガス設備の保守・保全・定期点検に関するサポートを行います。
配管、部品の交換や改造及び、点検、安全対策工事なども
対応します。
設置

ガス供給機器や配管架台など重量物の、揚重運搬及び据付け、アンカー固定を行います。
試運転・検査

ガス機器の試運転や検査にはそれぞれガスの特性に応じた知識、技術が必要です。用途に応じて、耐圧、気密、パーティクル、露点検査などの各種性能検査の労務対応を行います。